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我國(guó)半導(dǎo)體激光器芯片技術(shù)獲突破

來(lái)源:發(fā)布時(shí)間:2018-09-10 10:54:30點(diǎn)擊率:

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     近日,由中科院長(zhǎng)春光機(jī)所發(fā)光學(xué)及應(yīng)用國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室大功率半導(dǎo)體激光器課題組佟存柱研究員承擔(dān)的中科院知識(shí)創(chuàng)新工程領(lǐng)域前沿項(xiàng)目“大功率高亮度光子晶體激光器及列陣”取得了階段性進(jìn)展,他們通過(guò)布拉格反射波導(dǎo)結(jié)構(gòu)成功的將半導(dǎo)體激光快軸(垂直)發(fā)散角從40°降低到7.5°,慢軸(水平)發(fā)散角7.2°,實(shí)現(xiàn)近圓形光束出光。


  一直以來(lái),半導(dǎo)體激光器的大缺點(diǎn)之一是它較大的發(fā)散角,以及橢圓形出光光斑,這導(dǎo)致較差的光束質(zhì)量。而光束質(zhì)量反映的是激光的可匯聚性,直接影響到實(shí)際應(yīng)用。目前商業(yè)化的半導(dǎo)體激光器均采用全反射波導(dǎo)結(jié)構(gòu)(如圖1(a)),該結(jié)構(gòu)的激光諧振腔狹小,不對(duì)稱,導(dǎo)致快軸發(fā)散角高達(dá)30°-60°,慢軸發(fā)散角10°。


  研究小組采用雙邊橫向布拉格反射波導(dǎo)結(jié)構(gòu)(如圖1(b)),該結(jié)構(gòu)通過(guò)光子禁帶原理進(jìn)行光學(xué)導(dǎo)波,所限制模式為光學(xué)缺陷模式,可以有效壓縮激光的遠(yuǎn)場(chǎng)發(fā)散角。在成功解決了光子晶體缺陷模式與全反射模式競(jìng)爭(zhēng)、高質(zhì)量厚尺度(>10微米)外延生長(zhǎng)技術(shù)問(wèn)題后,實(shí)現(xiàn)了該器件室溫連續(xù)激射。器件工作于808nm,輸出功率>2W,斜率效率0.531W/A,快、慢軸發(fā)散角被降低到7.5°和7.2°,出光光斑近圓形。